產(chǎn)品型號
廠商性質(zhì)
更新時間
瀏覽次數(shù)
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
v 滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求
v 直徑200毫米的石英室
v 內(nèi)部石英管的設計便于拆卸和清洗
v 基片尺寸可達直徑150毫米
v 三區(qū)電阻爐，150毫米的均勻溫度區(qū)
v 溫度可達1000°C
v 使用節(jié)流型VAT蝶形閥下游壓力控制在50 mTorr到500 mTorr之間
v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 兩級干式真空
上一篇
