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Nikon NSR 2005i10C
1.Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現場20mm*20mm
對準精度
LSA:100nm
FIA:110nm
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